适用于厚膜、薄膜电阻的激光调阻，电子电路的功能修调、输出信号的修调。广泛应用于厚膜电路、汽车电子、传感器等领域。设备配置高，适合大规模量产。
适用厚膜电路调阻，电子模块功能修调
高精度，高速度，高可靠性
订制的最新技术激光器，切口质量高
直线电机XY平台分步重复
消色差成像技术，图像识别功能
矩阵测量系统，配备IEEE-488(GPIB)接口
强大软件编程功能，满足各种不同应用
主要技术参数
激光系统
型号规格
LT7130/G/U
激光波长
1064nm/532nm/355nm
激光功率
10W
典型光斑尺寸
35±5µm
对焦方式
自动，计算机程序控制
冷却方式
水冷
激光束定位系统
激光束运动范围
60mm X 60mm
运动分辨率
0.76µm
重复定位精度
±2.5µm
分步重复运动系统
运动方式
平面电机或直线电机
运动范围
290mm*260mm
±1µm
运动速度（空载）
900mm/s
测量系统
电阻测量方式
四线制测量或二线制测量
电阻测量精度
中阻 ± 0.02%
电阻测量范围
0.1Ω-100MΩ
测量速度
25µs/次
零点及满程误差校正
自动校正
探针定义
可编程任意设定
探针板运动
自动、计算机程序控制
探针板规格
标准P48